作為A股半導(dǎo)體設(shè)備龍頭，北方華創(chuàng)披露最新業(yè)績，顯示近三年營業(yè)收入復(fù)合增長率超過四成。據(jù)證券時報·e公司記者統(tǒng)計，目前已披露業(yè)績的上市公司中，超九成半導(dǎo)體設(shè)備上市公司實現(xiàn)盈利，并且多家上市公司開展資本運作，進(jìn)行同行整合，或者參與產(chǎn)業(yè)投資。

設(shè)備龍頭業(yè)績穩(wěn)健

4月8日北方華創(chuàng)發(fā)布的業(yè)績快報顯示，2024年，北方華創(chuàng)實現(xiàn)營業(yè)收入298.38億元，同比增長35.14%，實現(xiàn)歸屬于上市公司股東的凈利潤56.21億元，同比增長44.17%。

得益于集成電路裝備領(lǐng)域多款新產(chǎn)品取得突破，公司工藝覆蓋度及市場占有率顯著增長，產(chǎn)品銷量同比大幅度增加。另外，公司持續(xù)推動降本增效工作，平臺優(yōu)勢逐漸顯現(xiàn)，經(jīng)營效率顯著提高，成本費用率有效降低。

此前，北方華創(chuàng)介紹，公司去年多款新產(chǎn)品取得突破。電容耦合等離子體刻蝕設(shè)備、等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積設(shè)備、原子層沉積立式爐、堆疊式清洗機(jī)等多款新產(chǎn)品進(jìn)入客戶生產(chǎn)線并實現(xiàn)批量銷售，豐富了公司的產(chǎn)品矩陣，增強(qiáng)了產(chǎn)品布局的完整性。

最新披露的2025年一季度業(yè)績預(yù)告顯示，北方華創(chuàng)歸屬凈利潤實現(xiàn)14.2億元至17.4億元，比上年同期增長24.69%至52.79%。

2022年至2024年，北方華創(chuàng)營業(yè)收入和歸母凈利潤連續(xù)三年實現(xiàn)增長，營業(yè)收入年復(fù)合增長率42.53%，歸母凈利潤年復(fù)合增長率54.57%。

目前在已披露業(yè)績的半導(dǎo)體設(shè)備上市公司中，北方華創(chuàng)盈利規(guī)模居首，其次為中微公司、盛美上海以及華海清科，歸母凈利潤均實現(xiàn)10億元以上。

作為半導(dǎo)體刻蝕設(shè)備龍頭，中微公司去年歸母凈利潤16.26億元，扣非后凈利潤13.88億元，較上年同期增加16.52%；半導(dǎo)體清洗設(shè)備龍頭盛美上海去年實現(xiàn)歸母凈利潤11.53億元，同比增長26.65%；另外，CMP設(shè)備龍頭華海清科實現(xiàn)歸屬母凈利潤約10億元，同比增長約四成，產(chǎn)品市場占有率和銷售規(guī)模持續(xù)提高，同時新產(chǎn)品研發(fā)和銷售進(jìn)展順利。

研發(fā)投入增加

從盈利增速來看，先鋒精科歸母凈利潤同比增長1.7倍，目前增速最快，華海清科、華峰測控分別同比增長約四成與三成。

先鋒精科指出，公司盈利大幅增長主要受益于國內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)市場需求回暖及半導(dǎo)體設(shè)備關(guān)鍵零部件國產(chǎn)替代加速，公司營業(yè)收入增長，產(chǎn)能利用率提升，攤薄了固定成本，帶動公司利潤增長。據(jù)介紹，公司營業(yè)收入約60%—70%來源于北方華創(chuàng)、中微公司兩大客戶，公司向其提供腔體、內(nèi)襯、勻氣盤、加熱器、工藝部件、結(jié)構(gòu)部件等主要產(chǎn)品。根據(jù)訂單情況、客戶反饋信息，2025年中國半導(dǎo)體設(shè)備市場整體還處于上升周期。

另外，部分半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)將業(yè)績增速放緩或者虧損主要歸因于外部形勢變化公司加大研發(fā)投入。

對于歸母凈利潤同比下降，中微公司指出，除了2024年沒有股權(quán)處置收益外，主要是由于市場及客戶需求，以及外部形勢的變化，公司需要大量的研發(fā)投入，以確保加速補(bǔ)短板和實現(xiàn)趕超。去年公司研發(fā)投入約24.52億元，同比增長約九成，研發(fā)投入占公司營業(yè)收入比例約為27.05%。

目前中微公司在研項目涵蓋六類、超二十款新設(shè)備的開發(fā)。公司在新產(chǎn)品開發(fā)方面取得了顯著成效，近兩年新開發(fā)的LPCVD薄膜設(shè)備和ALD薄膜設(shè)備，目前已有多款新型設(shè)備產(chǎn)品進(jìn)入市場并獲得重復(fù)性訂單。公司在Micro-LED和高端顯示領(lǐng)域的MOCVD設(shè)備開發(fā)上取得了良好進(jìn)展，并積極布局用于碳化硅和氮化鎵基功率器件應(yīng)用的市場。

作為半導(dǎo)體量測設(shè)備龍頭，中科飛測去年歸母凈利潤虧損約1153萬元，成為目前已披露業(yè)績的半導(dǎo)體設(shè)備上市公司中唯一出現(xiàn)虧損的企業(yè)。

中科飛測指出，為了加快打破國外企業(yè)在國內(nèi)市場的壟斷局面，公司加大新產(chǎn)品及現(xiàn)有產(chǎn)品向更前沿工藝的迭代升級等方面的研發(fā)投入，報告期內(nèi)公司研發(fā)投入近5億元，同比增長118.17%，占營業(yè)收入約36%，占比居前。另外，為進(jìn)一步促進(jìn)公司核心人才隊伍的建設(shè)和穩(wěn)定，公司制定并實施了《2024年限制性股票激勵計劃》，報告期內(nèi)股份支付費用增加。

資本運作提速

相比往年，半導(dǎo)體設(shè)備上市公司資本運作提速，頻頻出手進(jìn)行同行整合，或者參與產(chǎn)業(yè)投資。

4月8日，拓荊科技公告擬與沈陽市國資委共同發(fā)起設(shè)立遼寧省集成電路裝備及零部件創(chuàng)新中心，將圍繞半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展趨勢布局前沿技術(shù)，進(jìn)一步推動整機(jī)裝備和零部件企業(yè)集聚發(fā)展。

北方華創(chuàng)去年12月同意向全資子公司華創(chuàng)創(chuàng)投增資5.1億元，與北京電控產(chǎn)業(yè)投資有限公司、北京國有資本運營管理有限公司等共同設(shè)立北京集成電路裝備產(chǎn)業(yè)投資并購二期基金。

另外，北方華創(chuàng)3月入主芯源微，先后受讓沈陽先進(jìn)制造技術(shù)產(chǎn)業(yè)有限公司、沈陽中科天盛自動化技術(shù)有限公司所持芯源微9.49%與8.41%股份，合計斥資約31億元，成為芯源微第一大股東。目前芯源微的主要產(chǎn)品包括涂膠顯影設(shè)備等核心工藝裝備，雙方產(chǎn)品布局有所不同，具有互補(bǔ)性，有利于雙方協(xié)同效應(yīng)的發(fā)揮。

在2025中關(guān)村論壇年會“硬科技投資與發(fā)展”平行論壇上，北方華創(chuàng)副總經(jīng)理文東表示，半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)是一個技術(shù)、資金和人才高度密集的產(chǎn)業(yè)，只有當(dāng)企業(yè)發(fā)展到一定規(guī)?；虍a(chǎn)品布局達(dá)到一定程度時，產(chǎn)業(yè)才會呈現(xiàn)聚集效應(yīng)。北方華創(chuàng)與全球排名前五的企業(yè)相比仍有較大差距，但已進(jìn)入新的發(fā)展階段。在此階段，需加快產(chǎn)品布局，而并購整合是一種有效的手段。另外，目前國內(nèi)集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅速，半導(dǎo)體裝備作為硬科技，對設(shè)計和制造提供關(guān)鍵支持，需要不斷向更先進(jìn)的制程延展。

1月25日，先鋒精科上市1個月后就迅速出手，擬以自有資金1200萬元收購無錫至辰科技有限公司全部股權(quán)。先鋒精科介紹，無錫至辰的主營業(yè)務(wù)為應(yīng)用于泛半導(dǎo)體領(lǐng)域的陶瓷涂層服務(wù)。本次收購為進(jìn)一步增強(qiáng)公司在半導(dǎo)體關(guān)鍵工藝部件的競爭力，在半導(dǎo)體金屬零部件的表面處理工藝方面取得突破，滿足公司在未來主營業(yè)務(wù)領(lǐng)域的發(fā)展需求。

另外，華海清科去年12月披露，擬使用自有資金不超過10.05億元收購公司參股子公司芯崳公司剩余82%的股權(quán)。資料顯示，芯崳公司主要從事集成電路離子注入機(jī)的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，目前實現(xiàn)商業(yè)化的主要產(chǎn)品為低能大束流離子注入設(shè)備，相關(guān)產(chǎn)品已發(fā)往客戶端驗證。