證券時(shí)報(bào)記者 吳瞬

人眼分辨率約0.1—0.2毫米，光學(xué)顯微鏡則約0.2微米，而芯片關(guān)鍵結(jié)構(gòu)尺寸已縮減至納米級(jí)，不及頭發(fā)絲直徑的萬分之一，其檢測(cè)已非常規(guī)檢測(cè)手段可及。面對(duì)納米級(jí)的芯片檢測(cè)，集成電路檢測(cè)技術(shù)猶如一雙“工業(yè)眼”，貫穿于芯片生產(chǎn)的整個(gè)周期，守護(hù)產(chǎn)品安全的每一個(gè)環(huán)節(jié)，不可或缺且責(zé)任重大。

眾所周知，芯片產(chǎn)業(yè)的自立自強(qiáng)對(duì)于我國(guó)至關(guān)重要，但鑒于國(guó)內(nèi)集成電路測(cè)試技術(shù)密集、精度高、質(zhì)量控制嚴(yán)格等特點(diǎn)，往往面臨著檢測(cè)難題，部分高端檢測(cè)技術(shù)更是空白。不過，近年來，中國(guó)企業(yè)在高端芯片檢測(cè)領(lǐng)域奮起直追，展現(xiàn)出強(qiáng)大的發(fā)展?jié)摿褪袌?chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力。

廣電計(jì)量是國(guó)內(nèi)晶圓制造工藝及材料分析的領(lǐng)先者，具備先進(jìn)制程晶圓制造工藝及材料的分析能力，實(shí)現(xiàn)了對(duì)先進(jìn)制程芯片原子級(jí)分辨率的形貌表征和成分分析，其集成電路應(yīng)用驗(yàn)證平臺(tái)已在新能源汽車、北斗導(dǎo)航等多個(gè)領(lǐng)域得到應(yīng)用，累計(jì)服務(wù)上百家芯片設(shè)計(jì)、制造和應(yīng)用企業(yè)，助力“中國(guó)芯”全面崛起，為芯片產(chǎn)業(yè)高水平自立自強(qiáng)、國(guó)家科技發(fā)展進(jìn)步貢獻(xiàn)力量。

直面痛點(diǎn)

攻克“卡脖子”技術(shù)

集成電路是新質(zhì)生產(chǎn)力的典型代表之一，中國(guó)已成為全球最大的集成電路市場(chǎng)之一。在國(guó)際貿(mào)易形勢(shì)日趨復(fù)雜的情況下，中國(guó)芯片產(chǎn)業(yè)鏈自主可控進(jìn)程正在加速推進(jìn)。

“中國(guó)芯”一直飽受良率之痛，芯片制造的每一個(gè)階段，從晶圓制造、中測(cè)到封裝，每一步都會(huì)對(duì)總良率產(chǎn)生影響，精確的檢測(cè)技術(shù)對(duì)良率提高意義重大，其中的難度亦可想而知。

“芯片測(cè)試主要的難點(diǎn)有二：一是技術(shù)跨越領(lǐng)域廣，從材料的原子維度分析，到半導(dǎo)體微觀缺陷分析，再到復(fù)雜集成電路測(cè)試?yán)碚摵蜏y(cè)試方法研究，以及應(yīng)用端各種應(yīng)用場(chǎng)景下的失效根因分析與驗(yàn)證。二是對(duì)測(cè)試平臺(tái)要求高，技術(shù)人才要在不同細(xì)分領(lǐng)域具備高度專精技術(shù)能力，測(cè)試平臺(tái)也要時(shí)刻緊跟集成電路的高集成度發(fā)展，不斷做技術(shù)改造提升?！睆V電計(jì)量黨委副書記、總經(jīng)理明志茂介紹說。

對(duì)此，廣電計(jì)量一技術(shù)負(fù)責(zé)人坦言，前沿芯片的檢測(cè)尤其難，這對(duì)前沿技術(shù)領(lǐng)域的創(chuàng)新和積累要求較高?！邦愃艫I芯片等前沿芯片的檢測(cè)，對(duì)工程師的要求非常高，需要具備前沿芯片領(lǐng)域各個(gè)方面的知識(shí)儲(chǔ)備，才能對(duì)這些芯片進(jìn)行功能、性能的驗(yàn)證，包括可靠性驗(yàn)證等?！?/p>

工欲善其事，必先利其器。隨著國(guó)家大力攻關(guān)集成電路領(lǐng)域，廣電計(jì)量引入一系列高端半導(dǎo)體分析設(shè)備，持續(xù)提升專業(yè)服務(wù)能力，致力為芯片全產(chǎn)業(yè)鏈提供專業(yè)的質(zhì)量評(píng)價(jià)與可靠性提升技術(shù)服務(wù)。

在這一系列“工業(yè)眼”的加持下，廣電計(jì)量的“能力圈”分外寬廣。

“集成電路產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于計(jì)算機(jī)、通信、消費(fèi)電子等領(lǐng)域，如果產(chǎn)品質(zhì)量不過關(guān)，將會(huì)直接影響到用戶的使用體驗(yàn)和企業(yè)的聲譽(yù)。我們檢測(cè)行業(yè)的使命就是要為國(guó)家急需的戰(zhàn)略行業(yè)高質(zhì)量發(fā)展保駕護(hù)航，大力提升集成電路元器件、上游設(shè)備、材料和零部件的可靠性、安全性，為芯片產(chǎn)業(yè)高水平自立自強(qiáng)、國(guó)家科技發(fā)展進(jìn)步貢獻(xiàn)力量。”明志茂說。近年來廣電計(jì)量致力于推動(dòng)大規(guī)模集成電路國(guó)產(chǎn)化發(fā)展，在工程化測(cè)試開發(fā)、量產(chǎn)測(cè)試等方面構(gòu)建了領(lǐng)先優(yōu)勢(shì)，完成了CPU、MCU、DSP、FPGA、DDR等典型大規(guī)模集成電路測(cè)試，成為國(guó)內(nèi)大規(guī)模集成電路測(cè)試的先行者。

同時(shí)，廣電計(jì)量牽頭完成了工信部“面向集成電路、芯片產(chǎn)業(yè)的公共服務(wù)平臺(tái)建設(shè)項(xiàng)目”，建立起國(guó)產(chǎn)化芯片應(yīng)用驗(yàn)證平臺(tái)，為關(guān)鍵裝備提供了國(guó)產(chǎn)芯片替代驗(yàn)證服務(wù)，攻克“卡脖子”技術(shù)難題，助力破解國(guó)內(nèi)集成電路產(chǎn)品“不敢用、不會(huì)用、不想用”的難題。

明志茂介紹，以車規(guī)級(jí)芯片為例，廣電計(jì)量是車規(guī)元器件驗(yàn)證服務(wù)能力全面的檢測(cè)龍頭企業(yè)，建立了車規(guī)元器件檢測(cè)驗(yàn)證公共服務(wù)平臺(tái)，助力解決國(guó)內(nèi)企業(yè)對(duì)車規(guī)元器件驗(yàn)證標(biāo)準(zhǔn)不了解、缺少車規(guī)元器件檢測(cè)手段、缺少國(guó)產(chǎn)元器件基礎(chǔ)數(shù)據(jù)等問題，產(chǎn)生了良好的經(jīng)濟(jì)效益和社會(huì)效益。

“針對(duì)國(guó)家戰(zhàn)略性領(lǐng)域，我們已建立北斗產(chǎn)品板級(jí)組件質(zhì)量檢測(cè)公共服務(wù)平臺(tái)，可覆蓋北斗全頻點(diǎn)測(cè)試，為國(guó)家星鏈計(jì)劃提供專業(yè)、優(yōu)質(zhì)、全方位的檢測(cè)分析服務(wù)，致力于成為北斗導(dǎo)航SOC量產(chǎn)測(cè)試的領(lǐng)航者，助力國(guó)家空天一體化建設(shè)?！泵髦久f。

把握重點(diǎn)

服務(wù)戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)

作為國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的國(guó)有第三方計(jì)量檢測(cè)上市企業(yè)，廣電計(jì)量是國(guó)內(nèi)上市公司中少數(shù)以服務(wù)國(guó)家科技進(jìn)步為使命，涵蓋計(jì)量檢測(cè)、科研服務(wù)、評(píng)價(jià)咨詢等業(yè)務(wù)領(lǐng)域的第三方服務(wù)頭部企業(yè)。

除了對(duì)集成電路檢測(cè)的全力投入，廣電計(jì)量還為特殊行業(yè)、航空、低空經(jīng)濟(jì)、智能網(wǎng)聯(lián)新能源汽車等重點(diǎn)領(lǐng)域提供全產(chǎn)業(yè)鏈綜合技術(shù)解決方案，推動(dòng)產(chǎn)業(yè)高可靠性、高安全性發(fā)展，從國(guó)之重器到高端裝備，從衛(wèi)星通信到集成電路，伴隨高科技下游行業(yè)同步發(fā)展，特別具有科技含量，對(duì)國(guó)家安全、人民健康安全具有重要意義。

“廣電計(jì)量從事計(jì)量超過60年，深耕檢測(cè)領(lǐng)域數(shù)十年，與海外一流企業(yè)的差距逐步縮小，甚至在計(jì)量校準(zhǔn)、可靠性與環(huán)境工程、電磁兼容等領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)了領(lǐng)先。”廣電計(jì)量黨委書記、董事長(zhǎng)楊文峰告訴證券時(shí)報(bào)記者，廣電計(jì)量的國(guó)產(chǎn)大飛機(jī)C919試驗(yàn)驗(yàn)證就是又一經(jīng)典案例。

近年來，廣電計(jì)量緊跟國(guó)家戰(zhàn)略，長(zhǎng)期深耕在大飛機(jī)產(chǎn)業(yè)鏈試驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)領(lǐng)域，并不斷進(jìn)行技術(shù)積累。楊文峰表示，公司此前就早已布局并開展大飛機(jī)相關(guān)檢測(cè)業(yè)務(wù)，主要為C919、ARJ21等機(jī)型提供適航取證過程中的設(shè)備級(jí)和系統(tǒng)級(jí)鑒定試驗(yàn)、高場(chǎng)強(qiáng)混響試驗(yàn)、研發(fā)過程中的科研技術(shù)支持等服務(wù)?！氨热纾跓o人駕駛載人航空器適航取證中，公司與多家電動(dòng)垂直起降飛行器（eVTOL）頭部企業(yè)建立深度合作，支撐了全球首個(gè)載人eVTOL型號(hào)TC適航取證，為飛控系統(tǒng)、機(jī)載電子與通信、動(dòng)力裝置及電池、關(guān)鍵芯片等重要系統(tǒng)和元件提供專業(yè)服務(wù)。”

在這一系列的基礎(chǔ)之上，廣電計(jì)量不斷實(shí)現(xiàn)自主可控技術(shù)攻關(guān)，并在C919上取得突破。廣電計(jì)量通過組建技術(shù)專項(xiàng)團(tuán)隊(duì)采用自主檢測(cè)技術(shù)，按照國(guó)際先進(jìn)適航標(biāo)準(zhǔn)要求，構(gòu)建了大飛機(jī)的電子、機(jī)械、液壓等30多個(gè)設(shè)備的試驗(yàn)驗(yàn)證能力，完成了C919適航取證過程的多個(gè)設(shè)備級(jí)和系統(tǒng)級(jí)鑒定試驗(yàn)，實(shí)現(xiàn)不出國(guó)門就能自主完成多項(xiàng)機(jī)載產(chǎn)品適航驗(yàn)證試驗(yàn)項(xiàng)目，為民機(jī)產(chǎn)業(yè)鏈設(shè)計(jì)及制造企業(yè)大幅節(jié)省時(shí)間成本和費(fèi)用成本，助力國(guó)產(chǎn)大飛機(jī)“一飛沖天”。

“我們將與國(guó)家戰(zhàn)略同頻，與產(chǎn)業(yè)發(fā)展共振，堅(jiān)持為國(guó)家戰(zhàn)略產(chǎn)業(yè)服務(wù)，堅(jiān)持為國(guó)家科技創(chuàng)新服務(wù)，堅(jiān)持為國(guó)家質(zhì)量提升服務(wù)，依托院士工作站、技術(shù)研究院等創(chuàng)新平臺(tái)，持續(xù)構(gòu)建與新質(zhì)生產(chǎn)力發(fā)展相匹配的新技術(shù)、新方法與新能力，以一流的計(jì)量檢測(cè)服務(wù)為質(zhì)量強(qiáng)國(guó)建設(shè)貢獻(xiàn)力量。”楊文峰說。

當(dāng)好支點(diǎn)

發(fā)揮“四兩撥千斤”作用

“計(jì)量檢測(cè)是國(guó)家質(zhì)量基礎(chǔ)設(shè)施的重要組成部分，對(duì)發(fā)展新質(zhì)生產(chǎn)力發(fā)揮‘四兩撥千斤’的作用。針對(duì)傳統(tǒng)行業(yè)，我們幫助能源、通信、電力等行業(yè)‘智轉(zhuǎn)數(shù)改’，實(shí)現(xiàn)從1到N的遞增；針對(duì)新興產(chǎn)業(yè)，我們助力數(shù)字經(jīng)濟(jì)、低空經(jīng)濟(jì)、智能網(wǎng)聯(lián)新能源汽車等行業(yè)提速發(fā)展；針對(duì)未來產(chǎn)業(yè)，我們前瞻布局衛(wèi)星互聯(lián)網(wǎng)、人形機(jī)器人、人工智能等領(lǐng)域，甚至探索技術(shù)創(chuàng)新‘深水區(qū)’‘無人區(qū)’，在定標(biāo)引領(lǐng)、技術(shù)突破、產(chǎn)品升級(jí)等方面發(fā)揮作用，實(shí)現(xiàn)從0到1的突破?！睏钗姆逭f。

而要實(shí)現(xiàn)這一系列目標(biāo)，離不開廣電計(jì)量背后的科研實(shí)力和長(zhǎng)期投入。截至2024年6月底，廣電計(jì)量先后主導(dǎo)或參與國(guó)家、行業(yè)、地方標(biāo)準(zhǔn)284項(xiàng)，承擔(dān)國(guó)家省市科研項(xiàng)目179個(gè)，累計(jì)獲得授權(quán)專利566項(xiàng)，科研創(chuàng)新能力位居行業(yè)前列。

在研發(fā)建設(shè)上，明志茂介紹，首先，廣電計(jì)量持續(xù)實(shí)施技術(shù)引領(lǐng)戰(zhàn)略，依托院士工作站、技術(shù)研究院平臺(tái)優(yōu)勢(shì)，成立十大重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室；加速布局?jǐn)?shù)字經(jīng)濟(jì)、低空經(jīng)濟(jì)、人工智能、新型儲(chǔ)能、生命科學(xué)、深海工程、衛(wèi)星互聯(lián)網(wǎng)、航空航天、量子計(jì)量、先進(jìn)核能等戰(zhàn)略新興領(lǐng)域，為公司高質(zhì)量發(fā)展增添技術(shù)儲(chǔ)備和能力。其次，持續(xù)保持高比例研發(fā)投入。公司研發(fā)投入占營(yíng)收比例約10%，2024年技術(shù)改造投入預(yù)計(jì)2.98億元。最后，持續(xù)引入高水平人才團(tuán)隊(duì)。公司組建了一支由學(xué)科帶頭人、資深行業(yè)專家和產(chǎn)業(yè)領(lǐng)軍人領(lǐng)銜的科研創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)，博士人數(shù)超40名，碩士人數(shù)超500名，持續(xù)優(yōu)化引才用才機(jī)制，激發(fā)人才創(chuàng)新活力。

“數(shù)字化、智能化時(shí)代撲面而來，廣電計(jì)量將瞄準(zhǔn)全球重大前沿技術(shù)和新質(zhì)生產(chǎn)力技術(shù)突破的重要方向，持續(xù)完善數(shù)字化實(shí)驗(yàn)室、大數(shù)據(jù)運(yùn)營(yíng)中心等數(shù)字化平臺(tái)，積極推進(jìn)數(shù)字化、智能化和自動(dòng)化發(fā)展。同時(shí)依托院士工作站等高層次科技創(chuàng)新平臺(tái)，持續(xù)完善新質(zhì)生產(chǎn)力十大重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，為國(guó)家科技進(jìn)步與產(chǎn)業(yè)升級(jí)提供堅(jiān)實(shí)的服務(wù)保障，致力成為‘2035科技強(qiáng)國(guó)’戰(zhàn)略的質(zhì)量先鋒企業(yè)?！睏钗姆逭f。