證券時(shí)報(bào)e公司訊，據(jù)北方華創(chuàng)消息，近日，北方華創(chuàng)自主研發(fā)的高均勻性、大產(chǎn)能，并適用大翹曲硅片的12英寸等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積（PECVD）設(shè)備交付客戶。此次推出的Cygnus系列12英寸等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積設(shè)備，主要用于制備氧化硅、氮化硅、氮氧化硅、碳氧化硅、碳氮化硅等多種高品質(zhì)介質(zhì)薄膜，可滿足邏輯、存儲和先進(jìn)封裝對鈍化層、隔離層、抗反射層、刻蝕停止層等多樣化的應(yīng)用需求。